項(xiàng)目

EM6900

EM6900Z

分辨率

SE:3.0nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV)

放大倍數(shù)

底片放大：6X ~ 300,000X   屏幕放大：12X ~ 600000X

電子槍類型

翻開式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢燈陰極

加速電壓

0 ~ 30KV

透鏡系統(tǒng)

三級(jí)電磁透鏡（錐形物鏡）

物鏡光闌

三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)

樣品臺(tái)

手動(dòng)

X/Y軸自動(dòng)

行程

X

0 ~ 80mm

Y

0 ~ 60mm

Z

0 ~ 50mm

R

360°

T

-5° ~ 90°

探測(cè)器

SE探測(cè)器，BSE探測(cè)器（可選），X-ray能譜儀（可選），EBSD（可選）

真空系統(tǒng)

分子泵